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管式炉选择和使用的注意事项有哪些?

发布时间:2020-06-24   点击次数:90次
  管式炉具有操作简单、保温效果好、控温精度高、温度范围大以及可通气氛等特点,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。管式炉的炉型有很多种,如立式、卧式、单温区、双温区、三温区、五温区、单管、双管等等。在实验及生产中,应如何选择管式炉炉型呢?下面简单介绍一下如何根据要求来选择管式炉:
  1、根据工作温度要求选择:如果工作温度要求小于1200°C,可选择炉管为石英管,加热元件是含钼电阻丝的管式炉;如果工作温度大于1200小于1400,可选择炉管为氧化铝,加热元件是硅碳棒的管式炉;如果工作温度大于1400小于1700,可以选择炉管为氧化铝,加热元件是硅钼棒的管式炉;
  2、根据升温速率要求来选择:如果升温速率要求不高,0-30°C/min,一般的管式炉都可以选择,但如果升温速率要求比较高,大于30°C/min,需要选择具有快速退火功能的管式炉,比如滑动式快速退火炉,RTP快速退火炉等;
  3、根据压力要求来选择,如果正压超过0.03Mpa,需要选择高压管式炉,如果同时对温度要求也比较高,需要选择高温高压管式炉
  4、根据加热区来选择,如果需要多个温区来进行加热,则选择多温区管式炉,具体温区数可以根据要求来选择;
  5、根据工艺受热要求来选择,比如对特定材料要求受热更均匀,可根据需求来选择旋转管式炉、多工位管式炉等。
  那么让我们在使用管式炉的时候应当特别注意哪些情况呢?
  1)使用之前查验开关电源,确定各项指标达标后,再开始工作;
  2)使用的全过程中不要再超出管式炉的最大温度;
  3)让我们在装取试件的时候,要带上隔高温的手套、口罩等防护具体措施,避免触电烫伤及其吸进高温挥发掉的有害气体;
  4)实验物品应当放到炉管中央,不可以乱排,不然影响实验效果;
  5)实验全过程中,不要再乱摸管式炉及其四周的试件;
  6)热电偶不可以在高温的状态下拔出,避免出现外套管的炸裂;
  7)如果管式炉密封的话,不可以通入易燃易爆气体,炉体应当放到空气流通处,时刻维持炉内清洁度;
  8)不可以讲高温的溶液漏到炉底上,可以垫板或者氧化铝粉隔离;
  9)一旦实验全过程中发现机器故障,让我们应当第一时间关闭电源,待炉体冷却后查验原因;
  10)不可以用沾有水和油的夹子装取试件,避免发生火灾事故;
  11)管理员如果不允许的话,不可以操作管式炉,要按照管式炉的控制规程进行执行。
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